在排除以上两个因素后，引起真空泵抽不到极限真空度的主要原因有以下几个方面。泵油污染，需要换油;泵内油过滤器堵塞，引起压缩注油系统油路不畅，供油不足，导致泵体密封不严，这时需要清洗内部油过滤器;配油器阀门变形，磨损或损坏，也可导致供油不足，这时应检查更换配油器阀门;长时间使用引起真空泵的旋片磨损或转子内的弹簧张力不足，导致吸气室和排气室隔离不严，从而引起真空泵的抽真空性能下降，这时应当更换旋片和弹簧，并清洗转子和泵腔;检查排气阀门，观看其动作是否失灵，导致排气不畅，必要时更换排气阀门。

易维实验仪器厂家提醒您，真空泵的真空系统是其工作的控制中心，我们要有一定的保护措施。当系统中有大量冷凝蒸气时，应打开气镇，与真空泵相连通，气镇阀一定要完全打开。这时可在气镇上安装气镇控制电磁阀，以提高气镇控制的自动化和远程控制能力。使用中，经常发现真空泵与真空系统连接的透明塑料管内壁发黄或焦黄，其原因是真空泵返油或油蒸气冷凝所导致，这只是表面现象，更深一层大家看不到的是所返油蒸气进入分析仪器，如质谱仪的分析场和离子源，这将导致分析仪器的性能下降，甚至不能工作，需要清洗维修。为防患于未然，应当在真空泵入口与真空系统之间安装电磁阀，在真空泵关闭时，电磁阀自动打开，往真空泵送入大气，减小负压，防止返油发生。